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直线光栅测量检测应用
我司提供单轴气浮运动台作为直线光栅测量检测的运动系统，搭配客户的检测设备完成测量过程。
精度特点
行程300mm，重复定位精度≤±0.1μm。
直线度±0.5μm，平面度±0.5μm。
同步位置输出功能。用户测量时，可采集运动台的光栅尺信号提供给上位机，结合测头数据，取得工件上坐标点的测量数据。
行程300mm，重复定位精度≤±0.1μm。
直线度±0.5μm，平面度±0.5μm。
同步位置输出功能。用户测量时，可采集运动台的光栅尺信号提供给上位机，结合测头数据，取得工件上坐标点的测量数据。
